VAKUUM-MIKROSXEMALAR haqida malumot bilib oling.
VAKUUM-MIKROSXEMALAR haqida malumot bilib oling. VAKUUM-MIKROSXEMALAR — mikroelektron texnologiya asosida yaratilgan koʻp funksiyali elektron asbob. V.-m. yuqori vakuumli ballonchadan iborat boʻlib, ichida maʼlum tartibda koʻplab mikroelektrodlar joylashgan. Millionlab metall katodlarni kimyoviy usulda yaratish texnologiyasiga asoslangan. Mikroelektrodlar kremniy taglikka mahkamlanadi, soʻngra taglik ustiga ketma-ket kremniy oksid (SiO2) va yupqa metall (koʻpincha, molibden) qatlamlari joylashtiriladi. Shu usulda … Читать далее